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低濃度アンモニアの脱臭実験
◆ 課題
クリーンルーム内の基板製造工程で発生し、室内に残留する低濃度アンモニアの除去方法として、当社のアクアオゾンシステムで対応可能かについて評価する。
◆ 実験方法
アンモニア水溶液を三角フラスコに入れ空気を吹き込むことにより、アンモニアを強制揮発させる。
その排気を別の三角フラスコに供給し、水中バブリングによる吸着除去効果を確認する。
さらにオゾンを供給することによる除去効果を確認する。
※ オゾンと水中バブリングによる除去効果は当社アクアオゾンシステムと同じ効果を得る。
除去効果の確認は、排気をにおい袋に回収し、ガステック社のガス検知管によりアンモニアの残留濃度の測定結果を用いて評価する。
◆ 吸着除去実験装置
◆ 実験結果
| 強制揮発風量 8 L/min | NH3濃度 | 除去効果 | 備 考 |
| 処理前排気 | 3.5ppm | － | 28%NH3水溶液を10000倍に希釈 |
| オゾン分解 | 2.5ppm | 29% | オゾン反応時間約20秒 |
| 水中バブリング | 0.25ppm未満 | 93% | 検知管測定限界未満 |
| オゾン＋バブリング | 0.25ppm未満 | 93% | 同上 |
◆ 結論
当社のアクアオゾンシステムを用いることにより、ワンパスで空気中の95%以上のアンモニアを吸着除去できると判断する。
◆ 考察
室内の空気をアクアオゾンシステムに繰り返し循環供給して処理することにより、室内に残留するアンモニアは非常に低濃度なレベルまで除去できると考える。
ガス検知管の仕様としては2度引きで0.25ppmを測定限界値としている。あくまでも参考レベルの測定ではあるが、今回は10回引き（仕様範囲外）で0.05ppm未満という結果であった。
